アプリケーション

当社が提供する製品は、さまざまなテクノロジーの最前線を支えています。
例えば、レーザー耐久性の高いフッ化カルシウムは、半導体露光装置等に使われ、半導体製造の稼働に貢献しています。
また、当社の高品質なX線デバイスは、空港の荷物検査装置などのセキュリティシステムに不可欠とも言える製品となっています。

半導体製造を支える光学結晶

当社のCaF2(フッ化カルシウム)は、真空紫外域から近赤外域まで高い透過率を持ち、ArF、KrF等のエキシマレーザーにも優れた耐久性を有します。
このため、半導体露光装置、エキシマレーザー装置など半導体製造産業での主要な位置を占める装置に使用されています。また、放送局用テレビカメラや天体望遠鏡にも採用されています。

当社CaF2の最終使用製品

半導体露光装置 ArF液浸ステッパークライアント業種:半導体露光装置製造メーカー

半導体露光装置ArFステッパークライアント業種:半導体露光装置製造メーカー

半導体露光装置は、Siウェハー上にコンピュータのCPUやメモリーの回路パターンを作る装置です。写真と同じように、回路パターンが刻まれたマスク像をウェハ上に投影します。回路パターンは数十ナノメートルサイズなので、光源に紫外線レーザーであるArFレーザーを用い、さらに縮小投影します。さらに解像度を上げるためレンズとウェハの間を純水で満たす方法もあります(液浸法)。当社CaF2は、これらの装置のレンズ等に使用されています。

半導体露光装置用ArFレーザークライアント業種:エキシマレーザ装置メーカー

上記半導体露光装置のレーザー光源として使用されます。当社製品は、レーザーチューブの窓材、プリズム等に使用されます。

ウェハー・マスク検査装置クライアント業種:ウェハー・マスク検査装置メーカー

上記半導体露光装置で使用されるマスクや、Siウェハやマスクの検査に使用されます。当社CaF2はレンズ、プリズムに使用されます。

放送機器用レンズ
(スタジオ・野外撮影)

放送局でのスタジオ中継、ドラマ撮影に使用される4K/、8Kテレビカメラや、屋外での撮影で使用されるポータブルカメラのレンズ材として使用されています。
また、屈折望遠鏡のレンズにも採用されています。

エキシマレーザーグレード

真空紫外域での高い透過率とレーザー耐久性を活かし、半導体露光装置のレンズ材、紫外線域レーザーの窓材などに適した製品を提供しています。

Read More

可視/赤外グレード

可視光領域での高い色収差補正能力を利用し、テレビカメラ、デジタルカメラ、天体望遠鏡のレンズや近赤外領域での高い透過率を利用した赤外線分析装置の窓材など幅広い用途の製品を提供しています。

Read More

シンチレータ・X線検出器の
設計・受注販売

当社では、セキュリティ・工業・医療用等のX線検査装置向けに各種シンチレータ材料を提供。また、X線検出器(ディテクタ)やディテクタ・モジュール等を設計から承り、お客様のご要望に応じた製品を提供しています。

使用領域セキュリティ分野

空港

CsI/CWO/GOS Sheet 
各種リニアアレイ/X線ディテクタ/DM

CWO/GOS
各種2Dアレイ/X線ディテクタ

税関・国境警備

CsI/CWO/GOS Sheet 
各種リニアアレイ/X線ディテクタ/DM

使用領域工業分野

使用領域医療分野

シンチレータ

用途やご要望に合わせて、CWO(CdWO4結晶)をはじめとする各種シンチレータ製品を提供いたします。
各種リニアアレイ、2Dアレイ等の加工製品も承っております。

Read More

ディテクタ

用途に応じて各種シンチレータ材料とSi-PINフォトダイオードを組み合わせたX線検出器(ディテクタ)を設計し、提供いたします。

Read More

ディテクタモジュール

X線検出器からの出力信号を増幅・A/D変換する信号処理回路も設計・製造し、提供いたします。

Read More