VUV



集積回路を微細化する為に波長の短い光が必要になります。
最先端の露光機(ステッパ)では波長193nmのエキシマレーザー(ArF)が使用されております。
当社のCaF2はArF用として高透過率、耐久性に優れております。

VUV Transmittance Spectrum



レーザー照射中のフッ化カルシウム

(撮影のための条件で照射しています)
CaF2_laser_s

Laser Durability (ArF Laser, 30mJ/cm2)




標準的仕様

  • 直 径 最大250mm
  • 厚 さ 100mm
  • 均質性 td1ppm以下
  • 複屈折 1nm/cm以下