CaF2は、真空紫外域から近赤外域まで高い透過率を持つ材料です。化学的に安定しており、紫外線レーザーにも優れた耐久性を発揮します。光学的には、低分散性・異常部分分散性を兼ね備えているため、高い色収差補正能力を持っています。
当社のCaF2製品
真空紫外域での高い透過率とレーザー耐久性を活かし、半導体露光装置のレンズ材、紫外線域レーザーの窓材としてエキシマレーザーグレードを提供しています。また、可視光領域では高い色収差補正能力を利用して、テレビカメラ、デジタルカメラ、天体望遠鏡のレンズ材料のほか、近赤外域での高い透過率を活かした赤外線分析装置の窓材として、可視・赤外グレードの材料も取り扱っています。